洁净室综合性能检测方法与测试设备

　　1、对于安装在送风系统末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤器安装边框和全断面检漏。扫描法有检漏仪法(光度计法)和采样量最小为1L/min的粒子计数器法两种。对于超高效过滤器，扫描法有凝结核定计数器法和激光粒子计数器法两种。

　　2、检漏仪法检漏

　　(1)被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%~120%之间进行。

　　(2)在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜用每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。

　　(3)当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏用气溶胶，立即在受检测过滤器的正前方测定上风侧浓度。

　　(4)对于高效过滤器，当检测仪表对数刻度时，上风侧气溶胶应超过仪表最小刻度的104倍;当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度需达到80~100ug/L。检漏仪表应具有0.001~100ug/L的测量范围。

　　3、粒子计数器法检漏

　　(1)被检过滤器已测过风量，在设计风速的80%~120%之间运行。

　　(2)在被检高效过滤器上风侧测定大气尘的微粒数，以大于或等于0.5um微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5*104粒/L;若检测超高效过滤器，则以大于或等于0.1um微粒为准，其浓度必须大于或等于3.5*106~3.5 *107粒/L。

　　4、检漏时将采样口放在距离被检过滤器表面2~3cm处，以5~20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封头胶和安装框架处进行扫描。