传感器与微系统技术领域科研获长足发展

　　第16届固态传感器、执行器与微系统国际会议(Transducers’11)在北京开幕，来自美国、德国、日本、法国、英国、西班牙、中国等39个国家和地区的专家、学者近1500人出席了大会。

　　“如今，物联网已被列为国家战略性新兴产业之一，是新一代信息技术的综合应用，将在环境监测、医疗健康、公共安全、能源、交通等诸多领域发挥重要的作用。”本次大会主席、中国科学院电子学研究所夏善红研究员介绍，物联网主要有感知层、网络层和应用层三个组成部分，而感知层的支撑技术就是微传感器与微系统技术。“Transducers’11会议主要研讨微传感器、执行器与微系统领域中相关的理论、设计、材料、制造、应用等方面的前沿动态和关键技术，它对我国物联网感知层技术的发展具有重要的推动作用。”

　　近些年，中国在传感器与微系统技术领域的科研和技术发展取得了长足的进步，国际影响力日益提高。Transducers会议录用的中国大陆论文已从2001年的寥寥2篇增加到本届会议的74篇。科技部副部长曹健林指出，传感器、执行器与微系统是近年来兴起的高科技领域之一，许多国家都把它列为优先发展的关键技术。中国自上世纪80年代以来，一直将其列入国家高新技术发展的重要方向之一，先后建立了“传感技术联合国家重点实验室”、“国家传感技术工程中心”等国家级研发机构。科技部高度重视微纳技术的发展，在863计划中设有MEMS(微机电系统)专项，建立了若干MEMS加工平台，重点面向我国国民经济发展急需的传感器与微系统进行研究开发，取得了一批重要的研究成果，培养了研究队伍，催生了一批新兴的MEMS高新技术企业。

　　据中科院院士王立鼎和西安交大副校长蒋庄德介绍，我国目前活跃在传感器与微系统技术领域的企业约有上千家，整个产业水平在逐步提升。