天津大学拟819万元采购一套聚焦离子/电子双束系统

[2018/5/17]

  作为中国第一所现代大学，天津大学是211工程、985工程首批重点建设的大学。学校科研实力雄厚，始终聚焦国家重大战略需求、聚焦世界科技发展前沿，取得了丰硕的成果。随着中国经济实力的提高，大学实验室建设也走向了更加专业化、规模化、完整化的道路。天津大学时刻注重提升学院的科研水平，积极完善仪器设备配置，培养更多优秀人才。

实验室是现代科学的摇篮，是培养科技人才的孵化器，实验室仪器的购买关系到大学师资力量和教学水平的提高。近日，天津大学精仪学院就聚焦离子/电子双束系统项目进行公开招标。预算金额为819万元，共采购一套聚焦离子/电子双束系统。

项目名称：天津大学精仪学院聚焦离子/电子双束系统

项目编号：1504-1842018J0002 (TDZC2018J0022)

一、采购项目的名称、数量、简要规格描述或项目基本概况介绍：

序号
设备名称
数量
简要技术规格
1
聚焦离子/电子双束系统
1套
具备离子束加工过程实时监控功能

  聚焦离子/电子双束系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器。在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，制作透射电镜样品，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。

  目前，我国的科研单位及高等院校在聚焦离子束曝光技术及其应用方面也作了大量的研究工作并取得了可喜的成绩。未来，随着我国微电子工业的发展，聚焦离子束曝光技术及其应用技术也将被提高到新的水平。天津大学精仪学院此次添置这一设备，将为学科研究工作顺利开展提供硬件支撑，意义重大。

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