中科科仪 Pro场发射扫描电镜 低压新指标KYKY-EM8100F

项目

KYKY-EM8100F性能参数

分辨率

SE:1 nm(30KV); 3nm(1KV)；BSE:2.5nm(30KV)

放大倍数

15x~800,000x

电子枪类型

肖特基场发射电子枪

加速电压

0 ~ 30Kv

自动调整功能

聚焦、亮度/对比度、消像散、电子束对中等

真空系统

2个离子泵，1个涡轮分子泵，1个机械泵

探测器

高真空二次电子探测器（具备保护探测器探头不被碰撞的功能）

样品台

五轴样品台（X/Y自动）

五轴自动台（大样品台）

5轴全自动样品台

X

0 ~ 80mm

0 ~ 150mm

Y

0 ~ 60mm

0 ~ 150mm

Z

0 ~ 50mm

0 ~ 60mm

R

360°

360°

T

-5° ~ 90°

-5° ~ 75°

选配探测器

背散射电子探测器，X-ray能谱仪（可选）