中科科仪 扫描电子显微镜KYKY-EM6200系列

项目

EM6200

EM6200Z

分辨率

SE:4.5nm (30KV)；BSE:6.0nm (30KV)

放大倍数

底片放大：15X ~ 250,000X   屏幕放大：30X ~ 500000X

电子枪类型

翻开式发叉结构钨灯阴极

加速电压

0 ~ 30KV

透镜系统

三级电磁透镜（锥形物镜）

物镜光阑

三个光阑可在真空外选择调节

样品台

手动

X/Y轴自动

行程

X

0 ~ 50mm

Y

0 ~ 50mm

Z

0 ~ 25mm

R

360°

T

-5° ~ 90°

探测器

二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选）

真空系统

分子泵